가스 정화 시스템을 갖춘 글로브 박스

구성 및

수량

기술적인 매개변수

주목

1 메인 챔버

L1900 x W760

x H900

3mm 두께의 스테인레스 스틸 304

쉬운 청소를 위한 둥근 모서리

투명 1개

시각화 패널

두께: 10mm

두께 10mm의 강화 창유리 경사 패널;

다리 지지대 1개

높이=900mm

탄소강, 바퀴 포함(지지 다리 포함), 편리한 이동식 글로브박스, 레벨 미세 조정

선반 4개

스테인레스 스틸 SUS304

조절식 선반

가로 x 세로=800 x 200mm

4 장갑 포트

알루미늄 합금

∅220 밀리미터

옵션 재질: 스테인레스 스틸/ 폴리옥시메틸렌 중합체

4 장갑

커프 직경 8",

길이 800mm,

두께: 0.4mm

재질: 부틸 고무;

밀봉된 O-링

브랜드: NORTH (미국)

옵션 재질: 네오프렌/고무

1 전원 보드

220VAC

220VAC, 50Hz, 단상

1 조명 시스템

램프, 안정기

내장형 형광등

브랜드: 필립스(네덜란드)

2개의 HEPA 필터

HEPA 표준에 따라

Inlet and outlet filter can eliminate particle size >0.3 μm, 캐비닛에 설치됨

4 KF40 예비 커넥터

KF40 시리즈

액체 또는 가스가 캐비닛 안팎으로 쉽고 안전하게 들어갈 수 있도록 상자 오른쪽에 있는 구성 퀵 커넥터입니다.

자료: SUS304 스테인리스

1개의 전기 피드스루

연결 사용

4개의 KF40 예비 커넥터 중 하나에 설치됨

1 가스/액체 피드스루

연결 사용

4개의 KF40 예비 커넥터 중 하나에 설치됨

구성 및

수량

기술적인 매개변수

주목

1 가스 정화 시스템

단일 정제 컬럼(GP-1);

폐쇄 루프 가스 재순환 시스템;

물 청소 및 산소 청소 기능;

독일 BASF 구리 촉매 재료, 미국 UOP 효율적인 흡수성 분자체 재료,

재생 공정의 정화 시스템은 자동으로 제어되며,

장기적으로 계속해서 가스 순도를 유지합니다: H2O & O2 < 1ppm.

산소 제거: 40L

수분제거 : 1.3kg

1 풋 컨트롤러

방수 이중 페달

캐비닛의 압력을 높이고 낮추는 정화 시스템을 제어합니다.

1 퍼지 밸브

전공 밸브

자동 전공 밸브

브랜드: 버커트

1 순환 송풍기

고속 주파수 송풍기

다양한 속도의 순환 펌프의 높은 진공도; 송풍기 속도: 25L/S.

브랜드: 대만 DARGANG

2 파이프 라인

스테인레스 스틸 SUS304

스테인레스 파이프라인

1 냉각 시스템

열교환기 1개 포함

Used for high temperature operation of users in the main chamber, which cause temperature >45도

압력 제어 장치

+15mbar에서 -15mbar로

(상대압력)

자동 제어 기능을 갖춘 상자 압력;

풋 페달 스위치로 수동 압력 제어가 가능합니다(+15mbar에서 -15mbar까지).

압력 센서: 미국 SETRA

제어 장치

Siemens 7" HMI로 프로그래밍된 논리 제어

컬러 터치 스크린 모니터

작업 조건 중 수분 및 산소 수준 자동 표시

브랜드: 지멘스.

수분 및 산소 제어 시스템

새로운 업그레이드된 컬러 터치 스크린: 7인치

PLC 제어 시스템, 터치스크린 작동,

브랜드: 시멘스;

* 수분 농도: {{0}}ppm, 정확도 0.1ppm

* 산소 농도: {{0}}ppm, 정확도 0.1ppm

* 자동 시스템 데이터 로깅

구성 및

수량

기술적인 매개변수

주목

1 대형 진공 대기실

DN385×600mm

원통형 대기실, 우측.

대형 대기실 내부에는 슬라이드 가능한 트레이 1개가 있습니다.

터치스크린으로 자동 제어됩니다.

스테인레스 스틸 304

대기실 재질: 스테인레스 스틸 304,

도어 재질: 알루미늄, 양극 산화 처리, 두께 ~ 10mm, 작동하기 쉽습니다.

누출율

<10^-5 mbar l/s

1 소형 진공 대기실(공구용)

DN150×300mm

원통형 대기실, 우측.

길이는 1/3_RD내부와 2/3_RD밖의.

3-방향 가스 밸브로 수동으로 작동됩니다.

스테인레스 스틸 304

대기실 재질: 스테인레스 스틸 304,

도어 재질: 스테인레스 스틸 304.

취급이 용이하도록 내부 및 외부에 힌지형 커버가 있습니다.

누출율

<10^-5mbar l/s

2개의 진공 게이지

기계식 다이얼 디스플레이

대형 진공 대기실 및 공구 진공 대기실의 진공 값을 측정하는 데 사용됩니다.

브랜드 : Wika (독일)

구성 및

수량

기술적인 매개변수

주목

1 진공 펌프

4L/S

더 빠른 가스 배출을 위한 중부하 작업용 2단 로터리 베인 펌프, 오일 밀봉, 오일 미스트 필터 포함;

진공율: 4L/S

브랜드: 중국 브랜드/영국 Edwards 브랜드/일본 ULVAC 브랜드

1 산소

분석기

{{0}}ppm, 정확도 0.1ppm

터치스크린 디스플레이;

산소 센서는 1ppm 미만을 감지할 수 있습니다.

브랜드: 미국 AII

1 물 분석기

{{0}}ppm, 정확도 0.1ppm

터치스크린 디스플레이;

수분 센서는 1ppm 미만을 감지할 수 있습니다.

브랜드: 영국 미셸